Mikroteknik

Mikroteknik eller mikroteknologi är ett samlingsnamn för alla tekniker som syftar till att forma strukturer i spannet 1-1000 mikrometer (en mikrometer motsvarar en miljondels meter, även skrivet 10−6 meter eller 1μm).[1] Teknikerna uppstod i syfte att massproducera halvledarkomponenter. Sedermera har teknikerna tillämpats för utveckling och produktion av mikroelektromekaniska system (MEMS). Inom begreppet mikroteknik räknas bland annat:[2]

  • Mikrolitografi
  • Djup reaktiv jonetsning

Referenser

Noter

  1. ^ ”Microtechnology (definition)”. www.reference.md. http://www.reference.md/files/D055/mD055616.html. Läst 15 februari 2017. 
  2. ^ J., Madou, Marc (2007-01-01). Fundamentals of microfabrication : the science of miniturization. CRC press. ISBN 0849308267. OCLC 849032148. https://www.worldcat.org/oclc/849032148